日本光驰镀膜机1800mm
配置： 光驰1800一台,配置有电子枪1把,蒸发,精,控光控。上烤,离子源深冷
特点：
1.大抽速真空系统加配深冷装置,优秀的动态真空能力,满足高效率生产的要求。
2.装载量更大,如需镀制大尺寸平面产品,可配备平面夹具
3.配备为该系列镀膜机特殊设计的单电子枪,可使膜料面平整无坑、确保蒸发分布稳定。
4.可配置在线反射率监控系统,产品一致性好。
产品参数
德国莱宝 型号：aps1104 真空室尺寸：1100*1200mm
深冷装置：温度-135℃,抽速90000l/s,功率7.5kw
真空性能：极限5×10-4pa,抽速：大气到5×10-3pa小于10分钟,升压时间：1×10-3pa到1×10-1pa大于10分钟
转动夹具：球面或平面,5-20转/立式公转夹具
电子枪：单双枪/电阻+磁控溅射
离子源：矩形离子源
晶体膜厚仪：sqc-310（全中文操作界面）
宽光谱监控：400-1200nm多片反射
地址：东莞市茶山镇增步村麒麟工业区新益大厦
极限真空度 3.0×10-4pa
恢复真空时间 4.0×10-3pa 15min
抽气系统 扩散泵tk-500×2
罗茨泵zjp-300
机械泵2x-70
真空测量系统 配三路数字复合真空计,两路低真空,一路高真空
操作方式 手动/自动
工件夹具 φ1040
工件烘烤系统 上烘烤,铠装管状加热器加热,******温度350℃,pid自动控温及显示
产品特点
采用箱式结构,真空系统后置,便于操作和维修；整机表面平整,方便清洁,特别适合放置在净化间内做穿墙式安 装。
设备真空系统抽速大,具有抽气时间短,真空度高,生产周期短等优点。
采用管状加热器上烘烤,烘烤温度均匀,寿命长,可达到******烘烤温度350℃,烘烤均匀性270℃±10℃。
工件转动采用上部中心驱动,轴承带水冷,磁流体密封,转动平稳可靠。
采用石英晶体膜厚控制仪,可实现镀膜过程的自动控制。
采用先进的镀膜控制系统,人机操作界面美观实用,系统稳定可靠,可实现系统的手动、半自动和全自动操作
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