定制降温可控百级无尘烘箱,半导体行业专业无尘烘箱
一.用途:
无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸 锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、lcd、cmos、is、医 药、实验室等生产及科研部门。
二.特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,sus304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口h.e.p.a filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能p.i.d温控系统,得到最佳温度控制精度。
三.产品技术参数:
1.无尘等级:class 100;
2.温度范围: +60~ +250℃;
3.升温速度:常温~+200℃,升温速度>6℃/min ,
4.温度均匀度:±2.5℃;(空载)
5.温度精确度:±1℃(空载)
6.设备型号:
型号
工作室尺寸(mm)
外形尺寸(mm)
加热功率
层板
col-2d(双腔)
w600×h500×d600
w1655×h1850×d1250
14kw
共2片
7.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,sus304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
8.内胆材料:采用进口sus304#日制镜面不锈钢板,并经碱 性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生
particle;
9.中桶材料:采用进口sus304#日制镜面不锈钢板,并经碱 性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
10.保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100k级高密度高保温板制造。
11.电 热 器:采进口覆套式电热器 (sheathed heater)无尘化电热发生器。
12.温 控 器:采用日本omron e5a型温度控制器,控制器led数字显示及设定、pid自动演算、薄膜设定,精确度±0.3%fs。
13.完善的安 全保护措施:漏电保护/过热保护报警/电机保护报警/ 门锁工作时门自动锁/异常显示(三色警示灯)
无尘烘烤箱热线:400-8238860 ;联系人:蒋鑫,15221744475 qq:147224984
参考网站:http://www.done- .