油扩散泵是高真空系统经常使用的泵种，采取某些技术措施，可以获得超高真空，其方法有：
1、选用性能好的扩散泵油
泵油对油扩散泵极限压力的影响很大。如使用3号扩散泵油，其极限压力只能达到10^-5pa;而改用275硅油，其极限压力能达到10^-7pa，极限压力提高2个数量级。其次被抽气体的分压力也随泵油的不同而变化，这就是泵油成分带来的影响。为此用油扩散泵获得超高真空，必须选择性能好的扩散泵油。对扩散泵油的要求是：泵油的相对分子量要大，常温下的蒸气压要低，热稳定性和抗氧化性要好，凝固点和低温粘度要低，要无毒，耐腐蚀，成本要低。
现在高真空油扩散泵普遍采用3号扩散泵油，超高真空采用硅油，要求不含碳氢化合物的超高真空系统，扩散泵采用氟油。
2、采用合理的烘烤技术
用油扩散泵获得超高真空系统都要进行高温烘烤，目的是减少材料的出气速率。材料在大气下都能吸收和吸附一些气体，当处于真空中时，便产生解吸，使气体缓慢地释放出来，为了加速解吸，采用烘烤。
材料不同，选择的烘烤温度也不同。原则是温度高一些好，可以加速出气，但还要考虑到材料是否能经受得住高温。烘烤温度要选择合适。通常金属材料，如不锈钢，烘烤温度为250℃—450c;非金属材料烘烤温度为80℃—100℃。烘烤时间4h—8h以上。极高真空的烘烤时间在24h以上。典型金属油扩散泵系统(烘烤后)的性能和金属油扩散泵超高真空系统中剩余气体组分。
凯谛牌扩散泵油有较低的饱和蒸汽压，在蒸汽流的作用下，可以获得较高的真空，较窄的馏分，提高了抽气速度，降低了设备运行成本。扩散泵油优良的热安 定性和氧化安 定性，保证了油品在泵腔内持续加热汽化，喷射，冷却的过程而不变质。油蒸汽遇冷迅速冷却回流，降低扩散泵油必须在机械真空泵的配合下进行工作，使用前将扩散泵洗净、烘干，然后把真空硅油或其它低蒸气压油从弯管管口注入，但不能直接往泵口里倒油，而是取一长管漏斗并插入泵口内使油从漏斗倒入泵内，以防有油积存在捕集器内。用油量可按不同规格大小而定，一般有回油管的泵，以油刚没过回油管的下口为宜；没有回油管的泵以刚没过最高的一个缺口为宜。油量装的过多或过少均会使泵的性能降低。把泵顶端的支管直接与玻璃系统焊接并用铁架固定，弯管的出口嘴用真空橡皮管与机械泵连接，在扩散泵与机械泵之间最好加用一只安 全瓶和一只真空活塞，便于气流控制和防护。
凯谛牌扩散泵油适用于各型号金属或玻璃扩散泵。应用在真空镀膜（光电、电子、装饰）、真空冶炼等行业更出色。
注意事项
1、应密封存放，不准混入其它油类，水分和杂质；
2、换油时应对扩散泵内用120号溶剂 汽油进行清洗，然后烘干再按规定量加入扩散泵油；
3、加入新油后若极限压强或抽气速度达不到要求，应检查真空系统是否漏气，各喷嘴装配是否正确，前级真空泵，锅炉加热电压，检测规管，仪表及导线等是否正常。
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